硅基光波导芯层材料及波导分束器的制备

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本文采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性的SiO2/ZrO2/H有机无机复合薄膜,利用分光式椭偏仪测得该薄膜在光纤的常用通信窗口0.85μm、1.31μm和1.55μm波长附近折射率分别为1.5569、1.5489和1.5472,与下包层SiO2的折射率(1.46)相比,其折射率差比占分别为6.64%,6.09%和5.97%,可作为芯层材料用于光波导的制备.通过控制提拉速率可以制作出厚度分别为1.29,2.20,4.00,5.44和6.82μm的SiO2/ZrO2/H芯层薄膜,以满足0,1,2,3和4阶导
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