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【正】 一、前言拉丁文 nano 原义是小个子或小孩子,在计量的国际单位制中作为词头使用,符号为 n,汉语译作'纳',定义为10<sup>-9</sup>。近年来,随着大规模集成电路的高密度化,其线宽已不再是微
纳米级几何量的计量
【摘 要】
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【正】 一、前言拉丁文 nano 原义是小个子或小孩子,在计量的国际单位制中作为词头使用,符号为 n,汉语译作'纳',定义为10<sup>-9</sup>。近年来,随着大规模集成电路
【出 处】
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国外计量
【发表日期】
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1989年2期
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