掺锑Zn-Sn-O透明导电膜的制备及特性

来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tanweitao610

【摘要】

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采用射频磁控溅射技术在7059玻璃衬底上低温制备出具有多晶结构的掺锑锌-锡-氧(Zn-Sn-O:Sb)透明导电膜.研究了制备薄膜的结构、成分、电学和光学特性以及退火温度对薄膜性能

【作者】

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黄树来马瑾盖凌云姜永超计峰马洪磊余旭

【机构】

：

山东大学物理与微电子学院,山东大学物理与微电子学院,莱阳农学院理学院,莱阳农学院理学院

【出处】

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太阳能学报

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

磁控溅射 Zn-Sn-O:Sb膜光电性质 magnetron sputtering Zn-Sn-O:Sb film opto-electrical prope

【基金项目】

：

中国科学院资助项目，重庆市应用基础研究基金

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采用射频磁控溅射技术在7059玻璃衬底上低温制备出具有多晶结构的掺锑锌-锡-氧(Zn-Sn-O:Sb)透明导电膜.研究了制备薄膜的结构、成分、电学和光学特性以及退火温度对薄膜性能的影响.Zn-Sn-O:Sb透明导电膜的电阻率为1.5×10-2Ω·cm,相应载流子浓度和霍尔迁移率分别为8.0×1019cm-3,5.8cm2·v-1·s-1.薄膜的可见光平均透过率达到了85%.

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