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提出一种为MEMS振动陀螺仪设计的驱动和检测接口电路。第一步采用通用级和TIA得到低噪声C/V转换,同时集成采样率1.25MS/s的14位SAR.ADCs,将驱动和感应模式的信号转换到数字域。采用这种策略,模拟电路的复杂性被降低,数字域的信号可以更精确操作。此接口适用于共振频率为3~15kHz的MEMS陀螺仪。此电路在0.18μm CMOS工艺流片。实验结果显示,在3.5kHz频率下,输出电容的噪声密度为0.03aF/√Hz。