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激光干涉仪测角系统的精度补偿方法
激光干涉仪测角系统的精度补偿方法
来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:willian_tang
【摘 要】
:
提出一种新的准直方法,对HP5528A激光干涉仪测角实现了精密计量.
【作 者】
:
高媛
郭丽莎
【机 构】
:
大连理工大学机械学院
【出 处】
:
计量技术
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
激光干涉仪
测角系统
精度补偿
角度计量
误差
原理
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提出一种新的准直方法,对HP5528A激光干涉仪测角实现了精密计量.
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