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半导体材料由于其优异的特性,近年来成为了材料科学与物理、化学、生物、电子信息技术等交叉学科研究的热点。本文研究了在生物衬底上制备半导体氧化物薄膜材料的工艺与技术,实现了低温下生物衬底上氧化物半导体薄膜材料的制备与研究。
低温下生物衬底上制备半导体氧化物薄膜
【摘 要】
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半导体材料由于其优异的特性,近年来成为了材料科学与物理、化学、生物、电子信息技术等交叉学科研究的热点。本文研究了在生物衬底上制备半导体氧化物薄膜材料的工艺与技术,
【机 构】
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吉林建筑大学电气与计算机学院,大陆汽车电子（长春）有限公司
【出 处】
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科学技术创新
【发表日期】
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2019年16期
【基金项目】
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吉林省大学生创新创业训练计划项目2018S1108,吉林省科技厅科技项目20170101111JC,吉林省教育厅科技项目JJKH20170243KJ.
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