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文中叙述了铝阳极氧化的反应机理,实验过程和影响氧化的主要工艺因素。还讨论了本技术对集成电路和半导体器件的追肿性。
阳极氧化铝钝化工艺的进一步研究
【摘 要】
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文中叙述了铝阳极氧化的反应机理,实验过程和影响氧化的主要工艺因素。还讨论了本技术对集成电路和半导体器件的追肿性。
【出 处】
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兰州大学学报
【发表日期】
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1978年04期
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