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研究了用工业ＩＣ技术和微细加工技术制造的硅基双层薄膜谐振器的工作机理，并建立了数学模型。对薄膜谐振效率、振幅及声产生效率与薄膜厚度、初始应力的关系进行了理论分析和计算，理论曲线与实验结果符合得很好。最后，给出了电热激励薄膜谐振器的优化设计方法。
硅基双层薄膜谐振器的数学模型及优化设计
【摘 要】
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研究了用工业ＩＣ技术和微细加工技术制造的硅基双层薄膜谐振器的工作机理，并建立了数学模型。对薄膜谐振效率、振幅及声产生效率与薄膜厚度、初始应力的关系进行了理论分析和计算
【机 构】
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西安交通大学真空微电子与微机械研究所,香港科技大学电气与电子工程系
【出 处】
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西北建筑工程学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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1998年2期
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