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申请公布号:CN105580152A 申請号:2013800798015 申请人:富士通株式会社 地址:日本神奈川县 发明人:百濑悟;吉川浩太;土井修一 Int. Cl.:H01L51/42(2006.01)I PCT进入国家阶段日:2016.03.24 PCT申请数据:PCT/JP2013/076368 2013.09.27 PCT公布数据:WO2015/045123 JA 20