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成果简介： 该知识产权平台包括芯片内温度和电源管理的知识产权库、低功耗数据转换器、低噪声微功率的模拟信号处理前端电路知识产权、芯片内时序产生相和IO界面微机电系统芯片ESD保护的特定电路元件和用于多轴微机电系统微加速度计的重力传感器集成电路。该技术的目标产业为微机电系统传感器制造商、IC设计公司和微机电系统晶圆代工厂。