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介绍球形工件曲率半径超精测量系统的测量原理，详细论述了该测量系统中采用的光路布局结构，并就半径测量中受环境影响引起的“状态差异误差”进行实时补偿实验。通过这些措施消除了“闲区误差”和“阿贝误差”，抑制了“状态差异误差”，提高了系统的测量精度和稳定性，该系统可同时进行面形测量。
球体半径超精测量系统研究
【摘 要】
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介绍球形工件曲率半径超精测量系统的测量原理，详细论述了该测量系统中采用的光路布局结构，并就半径测量中受环境影响引起的“状态差异误差”进行实时补偿实验。通过这些措施消
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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2001年2期
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