离子束增强沉积CrN镀层膜基结合强度的测定

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采用球滚接触疲劳法评定不同界面共混工艺所制 Cr N镀层膜基结合强度 ,并对试验结果进行分析对比。试验结果表明 ,在其它参数相同的条件下 ,随着氮离子轰击能量从 1 0 ke V、2 0 ke V提高到 40 ke V,静反冲共混界面结合强度相应增大 ,而动反冲共混界面结合强度则有明显降低的趋势 ,较低能量 ( 1 0 ke V、2 0 ke V)氮离子动态共混界面具有比其它共混界面更理想的膜基结合强度。 The ball-rolling contact fatigue method was used to evaluate the bond strength of CrN coating film base prepared by different interface blending process. The test results were analyzed and compared. The experimental results show that under the same conditions of other parameters, as the nitrogen ion bombardment energy increases from 10 keV and 20 keV to 40 keV, the bond strength of static recoil interface increases correspondingly, while the dynamic recoil force The binding strength of the blend interface is obviously decreased. The lower energy (10 keV, 20 keV) nitrogen ion dynamic blending interface has more ideal film-based bonding strength than other blending interfaces.
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