非掺杂半绝缘LECGaAs中深施主缺陷对注入硅激活率的影响

来源 :河北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zymmhl

【摘要】

：

通过测量ＧａＡｓ金属半导体场效应晶体管的饱和漏－源电流分布研究了深施工主缺陷ＥＬ２对半绝缘（ＳＩ）ＬＥＣＧａＡｓ中注入硅激活率的影响，发现激活率随ＥＬ２浓度的增加而增加，讨论了ＥＬ２影响硅注入激活率的机理。

【作者】

：

杨瑞霞贾晓华

【机构】

：

河北工业大学电气信息学院

【出处】

：

河北工业大学学报

【发表日期】

：

1999年1期

【关键词】

：

砷化镓离子注入深施主缺陷硅场效应晶体管 GaAs Activation Fieldeffect transistor

【基金项目】

：

国防科工委预研项目

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