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提出了一种快速而准确的数模混合集成电路衬底耦合参数提取方法 .采用边界元法求解衬底耦合电阻 ,与有限差分法相比 ,计算速度提高了一个数量级以上 ,且可以保持精度 .结合改进的 Voronoi图来划分版图 ,生成的衬底 RC网络数目远小于同样采用 Voronoi图的文献 [4],而且解决了文献 [4]中由于解析公式计算衬底电阻导致精度不高的问题