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ATE应对90nm及以下节点良率问题
ATE应对90nm及以下节点良率问题
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Gempin
【摘 要】
:
正如2007版国际半导体技术蓝图(ITRS)所提到的,自动测试设备(ATE)所面临的最紧迫的技术挑战便是“促进良率提高的测试”,特别是对于90、65、45nm和未来工艺节点上的晶圆工艺和器
【作 者】
:
Sally Cole Johnson
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2008年8期
【关键词】
:
下节点
ATE
自动测试设备
半导体技术
工艺
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正如2007版国际半导体技术蓝图(ITRS)所提到的,自动测试设备(ATE)所面临的最紧迫的技术挑战便是“促进良率提高的测试”,特别是对于90、65、45nm和未来工艺节点上的晶圆工艺和器件良率学习。
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