论文部分内容阅读
贯穿晶片的背面通孔已成为ＧａＡｓＭＭＩＣ和功率ＭＥＳＦＥＴ的有效接地方式。本文介绍了利用Ｃｌ２／ＳｉＣｌ４作为反应气体，以正性光刻胶为掩模的反应离子刻蚀背孔工艺。利用该工艺刻蚀出的深孔具有倾斜的剖面和光滑的侧壁，孔的横向侧蚀小，在φ５０ｍｍＧａＡｓ圆片上获得了良好的均匀性和重复性。
利用反应离子刻蚀实现GaAs晶片通孔工艺
【摘 要】
：
贯穿晶片的背面通孔已成为ＧａＡｓＭＭＩＣ和功率ＭＥＳＦＥＴ的有效接地方式。本文介绍了利用Ｃｌ２／ＳｉＣｌ４作为反应气体，以正性光刻胶为掩模的反应离子刻蚀背孔工艺。利用该工艺刻蚀出的深孔具有倾斜的剖面和光滑的侧
【机 构】
：
南京电子器件研究所
【出 处】
：
固体电子学研究与进展
【发表日期】
：
1994年2期
其他文献
<正> 只有社会主义能够救中国 伟大领袖毛主席在《关于正确处理人民内部矛盾的问题》一书中指出:“只有社会主义能够救中国”。在批林批孔运动深入发展的大好形势下,重温毛主席指出的这一伟大真理,对于我们坚持社会主义方向,防止资本主义复辟,进一步巩固和发展社会主义制度,具有十分重要的意义。 毛主席关于“只有社会主义能够救中国”的英明论断,是对我国人民长期革命斗争的历史经验的深刻总结,科学地揭示了社会发展的客观规律。近百年来,中国人民为了反对帝国
通过对高校知识创新功能和技术辐射功能以及福建省高校科研与产业现状的分析，提出了福建省高校科研与产业管理体制改革的一些设想。
本文研究了具时滞的Ｈｏｐｆｉｅｌｄ型神经网络模型ｕｉ（ｔ）＝－ｂｉｕｉ（ｔ）＋ｎ∑ｊ＝１Ｔｉｊｆｊ（μｊｕｊ（ｔ－τｊ）＋Ｃｉ，τｉ〉０，ｉ＝１，２，．．．ｎ平衡点的全局渐近稳定性，获得一系列充分条件。
<正> 在伟大领袖毛主席亲自发动和领导下,一场群众性的深入批林批孔的政治斗争,正在各个方面展开。中外反动派和历次机会主义路线的头子,都是尊孔派。半个世纪以来,毛主席在领导中国革命,同中外反动派作斗争、同机会主义路线作斗争的同时,反复地批判孔学,批判尊儒反法的反动想思。资产阶级野心家、阴谋家、两面派、叛徒、卖国贼林彪,就是一个地地道道的孔老
本文研究一类非自治阶段结构的合作系统,得到系统的最终有界性,对应周期系统正周期解的存在性,唯一性以及全局渐近稳定性的充分条件.
<正> 到目前为止的一切社会的历史都是阶级斗争的历史。 自由民和奴隶、贵族和平民、领主和农奴、行会师傅和帮工,一句话,压迫者和被压迫者,始终处于相互对立的地位,进行不断的、有时隐蔽有时公开的斗争,而每一次斗争的结局部是整个社会受到革命改造或者斗争的各阶级同归于尽。
在"职教20条"实施背景下,职业教育肩负着中国教育现代化,以及向现代职业教育转变的新使命。职业教育要直面新挑战,紧跟时代步伐,增强职业教育吸引力;应遵循现代职业教育发展
本文将对Ｄ的一些情形，研究不定方程ｘ＾ｐ－１＝Ｄｙ＾２解的情况，其中ｘ是奇素数。
石墨烯具有高比表面积、化学稳定性、优异的导电性和导热性等特点,被用于改善锂离子电池的倍率性能和稳定性能。综述了石墨烯改性聚阴离子型正极材料的制备、机理和性能,包括