阴极弧离子镀TiCN涂层的SEM-EDS面扫描与线扫描分析(英文)

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wzpyccx
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采用阴极弧离子镀在Cr12MoV冷作模具钢表面制备了TiCN涂层,通过扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)分析了涂层表面化学元素的面分布和界面化学元素的线分布。讨论了涂层界面结合机理,用划痕法对结合强度进行了表征分析。结果表明,涂层主要是由TiN、TiC和C原子组成,其中TiN和TiC提高了涂层硬度,C原子改善了涂层摩擦润滑性能;涂层中N原子分数超过C原子分数,界面结合处发生了相互扩散,涂层中C原子扩散量最大,基体中Si原子扩散量最大,涂层与基体形成了冶金结合,利用划痕法测定TiCN涂层结合强度为79.6 N。 The TiCN coating was prepared on Cr12MoV cold-working die steel by cathodic arc ion plating. The surface chemical distribution and chemical element line distribution of the coating surface were analyzed by scanning electron microscope (SEM) and energy dispersive spectrometer (EDS). The bonding mechanism of the coating interface was discussed. The bond strength was characterized by scratch test. The results show that the coating is mainly composed of TiN, TiC and C atoms, TiN and TiC improve the hardness of the coating, C atom improves the friction and lubricity of the coating. When the N atom fraction in the coating exceeds the C atom fraction and the interface junction The diffusion of C atoms occurred in the coating with the maximum diffusion of Si atoms in the matrix. The coating formed a metallurgical bond with the matrix. The bond strength of the TiCN coating measured by scratch was 79.6 N.
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