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高空间分辨率的热测试技术:扫描热显微技术
高空间分辨率的热测试技术:扫描热显微技术
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eton8816
【摘 要】
:
简述了用扫描热显微技术进行高空间分辨率热测量 试的技术特点和研究现状,介绍了实际测试的情况,初步分析了扫描热地和样品表面间的传热机理,提出了进一步研究的方向。
【作 者】
:
晋宏师
顾毓沁
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
扫描热显微技术
高空间分辨率
热测试技术
Scanning thermal microscopy (SThM)
Thermal tip
Temperatur
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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简述了用扫描热显微技术进行高空间分辨率热测量 试的技术特点和研究现状,介绍了实际测试的情况,初步分析了扫描热地和样品表面间的传热机理,提出了进一步研究的方向。
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