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电弧离子镀膜层中“大颗粒”的存在,降低了膜层质量,限制了其进一步应用。采用俄罗斯UVN0.5D2I离子柬辅助沉积电弧离子镀设备,对高速钢W18Cr4V上沉积的TiN膜层进行了氮离子束轰击。结果表明:TiN膜层表面“大颗粒”完全消失,凹坑浅而平整,粗糙度降低。膜层中较软的Ti和Ti2N向TiN转变,TiN(111)取向逐渐减弱,而(200)取向逐渐增强。膜层的显微硬度由原来的1980HV,N升高到2310HV1N。