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盘型分子泵3D过渡流特性
盘型分子泵3D过渡流特性
来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:moligu
【摘 要】
:
采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响.指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途
【作 者】
:
巴德纯
刘波
王晓冬
杨乃恒
于治明
【机 构】
:
东北大学真空与流体工程研究中心,东北大学真空与流体工程研究中心,沈阳航空工业学院安全工程系
【出 处】
:
真空科学与技术学报
【发表日期】
:
2004年1期
【关键词】
:
盘型分子泵
过渡流特性
抽气特性
直接模拟蒙特卡罗法
DSMC
麦氏分布
DiskShaped Molecular Pump
Transition Ranges
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采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响.指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途径.最后,进行了实验研究和模拟研究结果的对比,证明模拟计算结果在允许的误差范围内.
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