【摘 要】
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针对光栅尺具有断电位置复位、无累计误差、高精度优点，在光学隔振平台上分别建立开放式和封闭式绝对光栅尺实验系统，绝对光栅尺采用图像识别原理，以气浮直线电机ArotechABL1500
【机 构】
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广东工业大学机电学院广州510006 广东省微纳加工技术与装备重点实验室广州510006;
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针对光栅尺具有断电位置复位、无累计误差、高精度优点，在光学隔振平台上分别建立开放式和封闭式绝对光栅尺实验系统，绝对光栅尺采用图像识别原理，以气浮直线电机ArotechABL1500为参考对象，使用激光干涉仪RENISHAW XL‐80校核精度，研究不同结构绝对光栅尺的误码特点及原因。通过对比实验及研究分析，表明封闭式绝对尺相对于开放式绝对尺的误码率要高，开放式绝对式光栅尺的误码率为3％，封闭式绝对式光栅尺的误码率为8％。
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