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在分析四象限光电探测器工作原理的基础上，提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法。激光器与四象限探测器位置固定，掩模板处于激光器与四象限探测器之间。透过掩模板上的2个透光米字形标记，激光光束照射到四象限探测器的光敏面。根据2个四象限探测器的输出，计算出掩模板的位置和姿态偏差，通过运动平台调整掩模板的位置和姿态，实现对准。