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类金刚石膜是一种非晶结构的薄膜，关于其原子排列结构仍是目前研究的主要方向。本文从实验研究和理论研究两方面综合介绍类金刚石膜的研究概况，并介绍了类金刚石膜的实验研究方法和理论模型。
类金刚石（DLC）膜结构的研究概况
【摘 要】
：
类金刚石膜是一种非晶结构的薄膜，关于其原子排列结构仍是目前研究的主要方向。本文从实验研究和理论研究两方面综合介绍类金刚石膜的研究概况，并介绍了类金刚石膜的实验研究方
【机 构】
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华中理工大学
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1996年2期
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