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通过化学气相沉积方法成功合成了InAlO3（ZnO）15超晶格纳米串。扫描电镜观察到InAlO3（ZnO）15纳米片沿生长方向均匀排列,直径约为80～150 nm,长度约为7～20μm。X射线衍射结果表明样品具有InAlO3（ZnO）15超晶格纳米结构。高分辨透射电子显微镜显示相邻两个In-O层中间共16层In（Al）O（ZnO）m＋block,并研究了其生长机制。在0.6～3 V电压范围内,I-V特性曲线出现非线性性质。