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KLA－221系统用于掩模版缺陷的自动检查。本文着重对该机的工作原理、光学系统及自动调焦系统作了介绍。
KLA—221掩模缺陷自动检查系统
【摘 要】
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KLA－221系统用于掩模版缺陷的自动检查。本文着重对该机的工作原理、光学系统及自动调焦系统作了介绍。
【机 构】
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中国华晶电子集团公司中央研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1993年2期
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