【摘 要】
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为控制氧径向均匀性，选择Φ３５０ｍｍ热场。增加晶转速度可以改善氧径向均匀性，但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响。
To control the oxygen radial uniformity, choose Φ350m
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为控制氧径向均匀性，选择Φ３５０ｍｍ热场。增加晶转速度可以改善氧径向均匀性，但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响。
To control the oxygen radial uniformity, choose Φ350mm thermal field. Increasing the crystal rotation speed can improve the oxygen radial uniformity, but the quartz crucible rotation speed has no obvious effect on the oxygen radial uniformity.
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