【摘 要】
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对于3D互连、圆片级封装（WLP）和先进的MEMS器件的圆片键合，精密对准是一项关键技术，不同的MEMS，常常包含双面加工处理，而IC和CMOS制造业则只利用单面加工处理步骤，因此，圆片到圆片的
【机 构】
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EVGroupUS,EVGroup,不详
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对于3D互连、圆片级封装（WLP）和先进的MEMS器件的圆片键合，精密对准是一项关键技术，不同的MEMS，常常包含双面加工处理，而IC和CMOS制造业则只利用单面加工处理步骤，因此，圆片到圆片的对准必须使用设置在键合界面（也就是面对面）中的对准标记。论述了面对面对；隹方法的主要步骤，最新结果报导，用一种特殊开发的对；隹系统获得了≤1μm的对准精度。设备主要是为圆片对圆片的对准和键合而设计。
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