【摘 要】
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设计并研制成功适合人的眼睛安全测距应用的ＩｎＧａＡｓ雪崩光电二极管（ＡＰＤ）。器件直径为２００μｍ，工作在２１℃，１５４０ｎｍ波长时响应度为０．６４Ａ／Ｗ，典型暗电流和噪声因子分别为３０ｎＡ和６．５。介绍了该器件的工作原理、设计和制作工艺。
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设计并研制成功适合人的眼睛安全测距应用的ＩｎＧａＡｓ雪崩光电二极管（ＡＰＤ）。器件直径为２００μｍ，工作在２１℃，１５４０ｎｍ波长时响应度为０．６４Ａ／Ｗ，典型暗电流和噪声因子分别为３０ｎＡ和６．５。介绍了该器件的工作原理、设计和制作工艺。
Design and develop a successful InGaAs avalanche photodiode (APD) for human eye-safe range finding applications. The device has a diameter of 200 μm and operates at 21 ° C with a responsivity of 0.64 A / W at 1540 nm. Typical dark current and noise factors are 30 nA and 6.5, respectively. Describes the working principle of the device, design and manufacturing process.
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