DLC多层膜对9Cr18微动磨损性能的影响

来源 :上海交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zw9885

【摘要】

：

采用等离子体源离子注入(PSII)技术在9Cr18基体上制备类金刚石碳膜(DLC)多层膜,比较了该多层膜与N注入层对基体微动磨损性能的影响.结果表明,注入N后,改性层内形成了CrN、Cr2

【作者】

：

郭军霞陈秋龙蔡珣韩兆隆

【机构】

：

上海交通大学上海交通大学,;上海大型铸锻件研究所,;

【出处】

：

上海交通大学学报

【发表日期】

：

2001年12期

【关键词】

：

微动磨损等离子体源离子注入(PSII) 多层膜 9Cr18不锈钢

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采用等离子体源离子注入(PSII)技术在9Cr18基体上制备类金刚石碳膜(DLC)多层膜,比较了该多层膜与N注入层对基体微动磨损性能的影响.结果表明,注入N后,改性层内形成了CrN、Cr2N和Fe3N等氮化物相;PSII技术能够提高9Cr18不锈钢的抗微动磨损性能,实验所制备的DLC多层膜比N注入层具有更好的抗微动磨损性.这与最外层DLC膜的高硬度和低摩擦系数有关.

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