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针对能从大量待检测的生物分子群中，高分辨性及量化检测出某种特异性生物分子的新型免疫传感器的研制，采用有限元分析方法及完整的理论数学模型，设计仿真出这种基于悬壁梁结构及抗体-微磁球技术的新型生化免疫传感器，同时实现传感器的可复用性．特别是，此种免疫传感器很容易通过微细加工技术进行批量生产．执行控制电路、读出电路及传感器利用CMOS技术集成在同一芯片上，实现片上集成微系统．针对U型悬壁梁的结构进行了优化设计，结合经典力学的悬壁梁静态应力分布及考虑1／f噪声、白噪声，推导出了U型悬壁梁结构所需的传感器灵敏度、最