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采用磁控溅射和离子束混合技术制备不同C/Ti含量比的TiCx阻氢薄膜,并利用XPS测试手段分析氧在薄膜中的分布及存在方式,进而分析C/Ti含量比和H＋辐照对氧行为的影响,以期求得在不影响TiCx薄膜阻氢性能的基础上有效降低薄膜中氧含量的途径,提高薄膜的抗氧化性能,延长薄膜的有效寿命。
氧在阻氢薄膜TiC_x中的行为研究
【摘 要】
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采用磁控溅射和离子束混合技术制备不同C/Ti含量比的TiCx阻氢薄膜,并利用XPS测试手段分析氧在薄膜中的分布及存在方式,进而分析C/Ti含量比和H＋辐照对氧行为的影响,以期求得在
【机 构】
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苏盐城师范学院物理科学与电子技术学院
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2010年4期
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