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本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械－ＬＶＤＴ－信号处理－计算机控制的方案，使用方便，实现了台阶的自动测量，实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。
LSI薄膜台阶测量仪的研制
【摘 要】
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本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械－ＬＶＤＴ－信号处理－计算机控制的方案，使用方便，实现了台阶的自动测量，实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1998年3期
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