【摘 要】
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(三)椭圆接触时电容的计算方法用电容法测量弹流膜厚的大量数据,主要来自两盘的线接触。当模拟点接触和椭圆接触时就需要推导出计算标定曲线的方法。
(C) Elliptic Contact
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(三)椭圆接触时电容的计算方法用电容法测量弹流膜厚的大量数据,主要来自两盘的线接触。当模拟点接触和椭圆接触时就需要推导出计算标定曲线的方法。
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