【摘 要】
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1前景和关键领域热化学预处理和物理气相沉积已经成为现代先进制造技术的一部分.热化学预处理本身就是由于汽车工业的大规模发展而产生的.经过几十年发展的物理气相沉积仍被
【机 构】
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英国设非尔德哈勒姆大学,广州有色金属研究院
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1前景和关键领域热化学预处理和物理气相沉积已经成为现代先进制造技术的一部分.热化学预处理本身就是由于汽车工业的大规模发展而产生的.经过几十年发展的物理气相沉积仍被限制在"高新技术",仅应用在半导体工业和光学涂层.由于真空技术的快速发展和对等离子辅助过程的认识日益成熟,物理气相沉积技术,特别是硬质低摩擦系数涂层在机械工程方面得到了越来越多的应用.今天,一定范围的切削工具完全依赖于特殊的PVD涂层,先进的发动机系统也需要在表面涂覆一层具有低摩擦系数的含钨的碳涂层.如今,到了该考虑如果将两种
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