离子束辅助沉积制备Al/Al2O3双层膜及其性质

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利用离子束辅助沉积的方法在CK45号钢和AlTi合金的基体上制备了具有不同厚度Al层或Al层的Al/Al双层膜系统。Al与Al层之间是厚度为100nm的梯度界面层。利用电化学方法测量了样品在近中性水溶液中耐腐蚀性能。实验中还测量了样品的表面硬度和耐摩擦性能,研究了双层膜系统中Al或Al层厚度变化对样品物理性质和化学性质的影响。
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