【摘 要】
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介绍了一种用于大尺寸，无长导轨干涉测量系统．该系统由两种干涉仪构成．半导体激光光纤干涉仪用于定位，Ｈｅ－Ｎｅ激光干涉仪用于测量光程差．文中还就提高定位精度，采用脉冲电流调制方法调制半
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介绍了一种用于大尺寸，无长导轨干涉测量系统．该系统由两种干涉仪构成．半导体激光光纤干涉仪用于定位，Ｈｅ－Ｎｅ激光干涉仪用于测量光程差．文中还就提高定位精度，采用脉冲电流调制方法调制半导激光器作了介绍．实验中，采用１００ｍｍ导轨，测量距离为８００ｍｍ，测量误差为±２μｍ．
A system for interferometric measurement of large size, long rail is introduced. The system consists of two interferometers. Semiconductor laser fiber optic interferometer for positioning, He-Ne laser interferometer for measuring the optical path difference. The article also improves the positioning accuracy, using pulse current modulation modulation semiconductor lasers introduced. Experiments, the use of 100mm rail, measuring distance of 800mm, measurement error of ± 2μm.
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