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描述了低介电常数，低膨胀系数新型莫来石瓷在高密度封装中的应用，从设计考虑，封装结构，工艺及电性能方面进行了探讨，以期获得满足高速，超高速集成电路使用要求的高性能封装。
新型莫来石瓷在高密度封装中的应用
【摘 要】
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描述了低介电常数，低膨胀系数新型莫来石瓷在高密度封装中的应用，从设计考虑，封装结构，工艺及电性能方面进行了探讨，以期获得满足高速，超高速集成电路使用要求的高性能封装。
【机 构】
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石家庄电子部第１３研究所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1996年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目
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