【摘 要】
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静电场测量是检测物体是否携带过量静电最直接的手段,对于静电防护具有重要意义。传统的静电仪主要依赖固定距离测量,在被测物难以维持静止或不容易靠近时,距离改变引起灵敏度变化,造成测量误差。该文基于微机电系统电场传感器,提出一种可根据测试距离自适应调整灵敏度的静电测量思路:通过超声波模块测量被测物的距离,然后通过单片机查找对应的灵敏度系数,结合电场测试结果计算被测电压。针对研制的静电仪,该文提出基于实验
【机 构】
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北京科技大学数理学院北京市弱磁检测及应用工程技术研究中心,北京信息科技大学理学院,中国科学院微电子研究所,中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室,北京中科飞龙传感技术有限责任公司
【基金项目】
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国家重点研发计划(2018YFF01010800),国家自然科学基金(62031025),中央高校基本科研业务费专项资金(FRF-TP-19-045A2,FRF-BD-19-017A,FRF-BD-20-12A)。
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静电场测量是检测物体是否携带过量静电最直接的手段,对于静电防护具有重要意义。传统的静电仪主要依赖固定距离测量,在被测物难以维持静止或不容易靠近时,距离改变引起灵敏度变化,造成测量误差。该文基于微机电系统电场传感器,提出一种可根据测试距离自适应调整灵敏度的静电测量思路:通过超声波模块测量被测物的距离,然后通过单片机查找对应的灵敏度系数,结合电场测试结果计算被测电压。针对研制的静电仪,该文提出基于实验室标定及现场标定相结合的校准方法,搭建了动态灵敏度标定系统,计算出不同测试距离、不同被测物尺寸的传感器灵
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