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钽酸锂压电晶体由于具有优良的压电、电光性能、得到广泛应用.本文探讨应用扫描电镜技术对声表面波滤波器用钽酸锂晶体表面形态进行表征.
SAWF用钽酸锂晶体表面微观形态的表征
【摘 要】
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钽酸锂压电晶体由于具有优良的压电、电光性能、得到广泛应用.本文探讨应用扫描电镜技术对声表面波滤波器用钽酸锂晶体表面形态进行表征.
【机 构】
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电子科技大学微固学院分析中心(四川成都)成都理工大学电镜室(四川成都)
【出 处】
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第二届全国扫描电子显微学会议
【发表日期】
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2003年11期
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