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介绍了空心玻璃微球(HGM)的液滴法制备及其相关评测技术;针对HGM的特点和球面调制靶的制备要求,结合现有的准分子激光加工技术,对加工激光束参数的确定、光学系统的构建以及具体的加工过程进行了研究.提出了一种采用准分子激光刻蚀技术加工制备球面调制靶的具体工艺方案.
准分子激光加工球面调制靶工艺研究
【摘 要】
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介绍了空心玻璃微球(HGM)的液滴法制备及其相关评测技术;针对HGM的特点和球面调制靶的制备要求,结合现有的准分子激光加工技术,对加工激光束参数的确定、光学系统的构建以及
【机 构】
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华中科技大学机械电子信息工程系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2004年1期
【基金项目】
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国防科技重点实验室基金
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