精细线条光刻工艺研究

来源 :北京工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:twpt168
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本文研究了国产7205聚脂胶分辨率与胶膜厚度的关系。初步实验证明对于国产7205聚脂胶,分辨率是膜厚的5~6倍。同时研究了针孔与膜厚的关系。实验结果表明针孔数目与膜厚关系很大,薄胶膜针孔数可高至2000以上,而厚胶膜针孔降至20以下。最后综合了分辨率与膜厚的矛盾,选用膜厚为1700(?),在3DA50(3GC5W)微波功率管的矩阵版(最小条宽1μ)上进行了验证试验,获得良好的结果。
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