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汉语最高级程度副词"最为、极为、尤为、甚为、颇为"中古汉语中萌芽、近代成熟,现代仍有使用;较高级程度副词"更为"、较低级程度副词"较为、稍为、略为"近代汉语中萌芽、发展,现代仍有使用。重新分析是最高级单音节程度副词"X"+"为"词汇化为最高级双音节程度副词"X为"的重要机制,韵律规则和较高的使用频率则是促成"X"+"为"词汇化为"X为"的催化剂;语法化中的类化机制则是较高级、较低级程度副词"X为"产生的直接推手。