【摘 要】
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为满足大规模集成电路对硅材料提出的晶体直径和长度大型化的要求,已研制成功DL—78型大型硅单晶炉。该炉为15—30公斤级,可拉制直径75—100毫米、长1400毫米的晶体。本文介
【机 构】
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上海有色金属研究所,上海有色金属研究所,上海有色金属研究所,上海有色金属研究所,
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为满足大规模集成电路对硅材料提出的晶体直径和长度大型化的要求,已研制成功DL—78型大型硅单晶炉。该炉为15—30公斤级,可拉制直径75—100毫米、长1400毫米的晶体。本文介绍炉子全貌、参数和指标、炉型、主电源和控制系统等方面;重点在论述大容量、长行程、大功率和长时间(拉晶)四个问题对设计、制造的影响和解决的办法。
In order to meet the requirements of large-scale integrated circuit for silicon materials proposed by the crystal diameter and length requirements, DL-78 has been successfully developed large-scale silicon crystal furnace. The furnace for the 15-30 kg class, can be drawn diameter 75-100 mm, 1400 mm long crystal. This article introduces the overall picture of furnace, parameters and indicators, furnace type, main power supply and control system, etc. It focuses on the influence of design, manufacture and impact on four major issues of large capacity, long stroke, high power and long time Method.
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