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等离子体聚合四丁基锡薄膜的制备和结构
等离子体聚合四丁基锡薄膜的制备和结构
来源 :合成化学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dadada123sasasa
【摘 要】
:
研究了Ar和Ar/O_2混合气携带四丁基锡的等离子体聚合规律和膜的组成、结构,分别得到低碳氢含量的金属Sn和SnO_x共混膜。
【作 者】
:
周瑞花
曹伟民
【机 构】
:
中国科学院成都有机化学研究所
【出 处】
:
合成化学
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
等离子体
聚合
四丁基锡
共混膜
锡
Plasma polymerization
Tetrabutyltin
Deposition law. Compound
【基金项目】
:
国家自然科学基金,中科院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室资助项目
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研究了Ar和Ar/O_2混合气携带四丁基锡的等离子体聚合规律和膜的组成、结构,分别得到低碳氢含量的金属Sn和SnO_x共混膜。
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