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微捷码携手应用材料集成CAD和检测系统
微捷码携手应用材料集成CAD和检测系统
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:firefly_xk
【摘 要】
:
微捷码(Magma)公司近日宣布,微捷码携手应用材料公司将微捷码基于CAD(计算机辅助设计)的导航和良率分析软件与应用材料公司先进检测系统相集成。这种设计与制造工具的独特组合已为
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2011年4期
【关键词】
:
应用材料公司
检测系统
CAD
集成
计算机辅助设计
质量检验
技术节点
制造工具
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微捷码(Magma)公司近日宣布,微捷码携手应用材料公司将微捷码基于CAD(计算机辅助设计)的导航和良率分析软件与应用材料公司先进检测系统相集成。这种设计与制造工具的独特组合已为多家客户的先进技术节点开发和生产提供了加速的光刻质量检验和改善的芯片良率。
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