a—Si1—xCx：H钝化膜热稳定性的研究

来源 :兰州大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangzi_job

【摘要】

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采用外耦合电容式射频辉光放电等离子体 CVD 系统,在低于300℃的衬底温度下,制备出了 a—Si(1-x)C_x∶H 钝化膜.对含碳量不同的3种样品作了热稳定性实验(即高温存放、温度循

【作者】

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张亚菲李亚红

【机构】

：

兰州大学物理系,兰州大学物理系

【出处】

：

兰州大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

1990年4期

【关键词】

：

半导体钝化膜热稳定性半绝缘体 Semi insulators Semiconductor surface passivationThermal stab

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采用外耦合电容式射频辉光放电等离子体 CVD 系统,在低于300℃的衬底温度下,制备出了 a—Si(1-x)C_x∶H 钝化膜.对含碳量不同的3种样品作了热稳定性实验(即高温存放、温度循环和退火).另外,还对同一号样品做了在不同温度下退火30min 的实验.结果表明,此钝化膜的释氢温度高于600℃.具有很好的热稳定性.

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