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本文采用一种新的低氟溶胶-凝胶法在LaAlO3(LAO)单晶衬底上制备出表面质量良好的YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜,薄膜厚度约为280nm。与传统的a11-TFA法相比,减少了大约60%的HF气体的释放量并大大缩短了热处理周期。通过控制退火过程中气氛的湿度减少了薄膜中a轴晶粒的体积分数并提高了临界电流密度Jc。在高分辨透射电子显微镜(HRTEM)下获得了薄膜的高分辨图像及电子衍射花样。从高分辨像可以看出,薄膜的生长从衬底开始沿c轴方向形成明显的层状结构,仅在薄膜的自由表面50nm范围内有少许与c