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期刊论文
类金刚石薄膜硬度的研究
类金刚石薄膜硬度的研究
来源 :表面技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ssdmin
【摘 要】
:
采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜 ,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素 ,包括 :基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等 ,分析了各种镀制参数对
【作 者】
:
蔡长龙
王季梅
杭凌侠
严一心
徐均琪
【机 构】
:
西安交通大学电气工程学院,西安工业学院光电科学与工程系
【出 处】
:
表面技术
【发表日期】
:
2002年03期
【关键词】
:
类金刚石薄膜
脉冲电弧
硬度
工艺参数
【基金项目】
:
陕西省自然科学基金
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采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜 ,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素 ,包括 :基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等 ,分析了各种镀制参数对薄膜硬度的影响机理 ,找出了最佳镀制工艺参数
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