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采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜 ,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素 ,包括 :基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等 ,分析了各种镀制参数对薄膜硬度的影响机理 ,找出了最佳镀制工艺参数
类金刚石薄膜硬度的研究
【摘 要】
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采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜 ,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素 ,包括 :基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等 ,分析了各种镀制参数对
【机 构】
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西安交通大学电气工程学院,西安工业学院光电科学与工程系
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2002年03期
【基金项目】
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陕西省自然科学基金
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