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高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件，决定键合的速度和质量，进而影响芯片的成本与可靠性。采用ABAQUS有限元分析软件对高加速度高精度定位平台系统的模态特性进行了仿真分析，发现在不同的共振模态下，具有不同的振动特性，同时还存在模态密集、振型复杂等特点。
引线键合机高速定位平台系统的模态特性有限元分析
【摘 要】
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高加速度高精度定位平台是引线键合机的核心部件，决定键合的速度和质量，进而影响芯片的成本与可靠性。采用ABAQUS有限元分析软件对高加速度高精度定位平台系统的模态特性进行了
【机 构】
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湘潭大学机械工程学院,湖南工程学院机械工程学院
【出 处】
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机械设计与制造
【发表日期】
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2010年9期
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