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针对电渗泵的设计参数优化问题，建立电渗驱动流的数学模型，应用有限控制容积法对矩形流道断面上双电层场和速度场的耦合控制方程进行数值求解。详尽分析流道断面深宽比、流道当量直径、电解质溶液浓度和外加电场强度对电势、速度和流量的影响，并给出电渗流量和平均速度与影响因素之间的拟合公式。仿真结果表明：流量随流道深宽比的增大而减小，当流道深宽比为1时，流量最小；流量随流道当量直径的平方增加；平均速度与电解质溶液浓度和外加电场强度有关、与流道深宽比和当量直径的大小基本无关。